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中國電科46所成功制備我國首顆6英寸氧化鎵單晶

2023-02-28 08:09:23

每經AI快訊,據中國電科官方微信公眾號,近日,中國電科46所成功制備出我國首顆6英寸氧化鎵單晶,達到國際最高水平。中國電科46所氧化鎵團隊聚焦多晶面、大尺寸、高摻雜、低缺陷等方向,從大尺寸氧化鎵熱場設計出發,成功構建適用于6英寸氧化鎵單晶生長的熱場結構,突破了6英寸氧化鎵單晶生長技術,具有良好的結晶性能,可用于6英寸氧化鎵單晶襯底片的研制。(每經)

責編 張喜威

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