截至2025年10月20日 11點10分，上證科創板半導體材料設備主題指數強勢上漲1.11%，成分股和林微納上漲2.79%，耐科裝備上漲2.72%，拓荊科技上漲2.54%，中巨芯，晶升股份等個股跟漲。科創半導體ETF（588170）上漲1.02%，最新價報1.38元。拉長時間看，截至2025年10月17日，科創半導體ETF近1月累計上漲5.48%。

流動性方面，科創半導體ETF盤中換手8.03%，成交2.91億元。拉長時間看，截至10月17日，科創半導體ETF近1周日均成交8.43億元，領先同類。規模方面，科創半導體ETF最新規模達35.65億元，創成立以來新高，領先同類。

10月19日，士蘭微發布公告稱，公司、全資子公司廈門士蘭微擬與廈門半導體投資集團有限公司、廈門新翼科技實業有限公司共同向子公司士蘭集華增資51億元，士蘭集華為該項目的實施主體。項目規劃總投資200億元，規劃產能4.5萬片/月，分兩期實施，兩期建設完成后，將在廈門市海滄區形成年產54萬片的生產能力。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF （588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中 半導體設備 （61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備 和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF （562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。