截至2025年10月16日 13點53分，上證科創板半導體材料設備主題指數下跌1.35%。成分股方面漲跌互現，中巨芯領漲5.57%，神工股份上漲2.81%，耐科裝備上漲2.06%；芯源微領跌3.81%，滬硅產業下跌3.66%，先鋒精科下跌3.53%。科創半導體ETF（588170）下跌1.31%。

流動性方面，科創半導體ETF盤中換手12.63%，成交4.30億元，市場交投活躍。規模方面，科創半導體ETF最新規模達34.17億元，創成立以來新高，領先同類。

消息面上，清華大學電子工程系方璐教授團隊在智能光子領域取得重大突破，成功研制出全球首款亞埃米級快照光譜成像芯片“玉衡”，這一成果標志著我國智能光子技術在高精度成像測量領域達到了新的高度。相關研究成果已在線發表于國際知名學術期刊《自然》。

中信證券表示，當前，海外先進制造、先進封裝代工產能難以獲取，國產算力產業鏈仍在奮力追趕，關鍵環節處于“強需求、弱供給”的狀態。在傳統半導體國產化已有一定基礎的情況下，先進制程、先進存儲、先進封裝、核心設備材料、EDA軟件的國產化仍有較大提升空間。建議關注人工智能需求增量及國產化進展。

相關ETF：公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。