截至9:53，上證科創板半導體材料設備主題指數下跌0.32%。成分股漲跌互現，富創精密領漲3.20%，和林微納上漲2.72%，拓荊科技上漲1.29%；滬硅產業領跌2.44%，龍圖光罩下跌1.87%，金宏氣體下跌1.70%。科創半導體ETF（588170）多空膠著。

流動性方面，科創半導體ETF盤中換手4.56%，成交1.65億元。拉長時間看，截至10月15日，科創半導體ETF近1周日均成交9.09億元，領先同類。

規模方面，科創半導體ETF最新規模達34.17億元，創成立以來新高，領先同類。

東海證券認為，AI領域投資強度仍未放緩，體現長期增長潛力。長期看，國內半導體國產替代進程有望加速，加快本土半導體供應鏈建設，形成新的國際合作關系，重塑全球半導體供應鏈格局。

相關ETF：公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。