截至10月27日13點52分，滬指逼近4000點，半導體設備、材料行業交投活躍。重倉半導體設備、材料的科創半導體ETF（588170）、半導體材料ETF（562590）午后繼續上攻，盤中雙雙漲超3%，成交額同步放大，分別突破5億、1億元。成分股方面，晶瑞電材、南大光電、艾森股份漲幅明顯。從資金流入方面，科創半導體ETF（588170）近5個交易日內有3日資金凈流入，合計“吸金”2.10億元，日均凈流入達4191.25萬元。半導體材料ETF（562590）買盤活躍，拉長時間看，近12個交易日內，合計“吸金”2007.66萬元。

銀河證券認為，資金圍繞科技自立主線集中布局，頭部半導體設備企業訂單能見度有望持續提升。重要規劃重點聚焦關鍵核心技術領域的自主突破，設備是直接受益環節之一。短期看，AI算力需求或推動國內外邏輯與存儲廠商擴產，刻蝕、薄膜沉積設備需求旺盛；長期看，國產替代邏輯在科技自強戰略下或更為穩固。

相關ETF：公開信息顯示， 科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中 半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。