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上海新陽：ArF浸沒式光刻膠已取得銷售訂單

每日經濟新聞 2025-04-22 12:23:19

每經AI快訊，4月22日，上海新陽在互動平臺上表示，公司主要開發括I線、KrF、ArF在內的各類晶圓制造用光刻膠，已實現KrF光刻膠多款產品批量化銷售，2024年光刻膠產品整體銷售規模持續增加，同比增長超100%，ArF浸沒式光刻膠已取得銷售訂單，邁出了實現產業化的第一步。

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