每日經(jing)濟新聞 2023-07-14 16:29:43
每(mei)經AI快訊,有投資(zi)者在投資(zi)者互動平臺(tai)提問:請問公司(si)電子(zi)特種(zhong)氣體可用于光刻領域么?
中(zhong)船特(te)氣(688146.SH)7月(yue)14日在投(tou)資者互動平臺表示(shi)(shi),公司生產(chan)的(de)混合(he)氣主要應用于大規模集成電(dian)路和顯示(shi)(shi)面板制造過程中(zhong)的(de)光刻、退(tui)火等多個工藝。基于自身掌握(wo)的(de)純(chun)化和混配(pei)技術(shu),公司混合(he)氣產(chan)品(pin)組分純(chun)度可達6N,目前已實現30余種電(dian)子混合(he)氣的(de)量(liang)產(chan)供(gong)應。
(記者 王可然)
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