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ASML與比利時微電子研究中心簽署諒解備忘錄，支持高NA半導體研究

2023-06-28 22:46:45

每經AI快訊，6月28日，荷蘭光刻機巨頭ASML官網宣布，與比利時微電子研究中心（Imec）簽署諒解備忘錄，將在下一階段加強合作，在IMEC開發一個最先進的高數值孔徑（High-NA）極紫外光刻試驗線。諒解備忘錄包括在比利時魯汶的Imec中試線安裝和服務ASML的全套先進光刻和計量設備。（每日經濟新聞）

責編 張楊運

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