每日(ri)經(jing)濟新聞 2023-05-30 14:52:35
每經(jing)AI快訊,有投(tou)(tou)資(zi)者在投(tou)(tou)資(zi)者互(hu)動平臺(tai)提問:請(qing)問老師,禹(yu)衡(heng)光學的(de)光柵尺(chi)達(da)到國內(nei)領先水(shui)平,從理(li)論上講是否可以用于(yu)光刻機的(de)零部件?或(huo)者說(shuo)現(xian)在已經(jing)用于(yu)光刻機得研發,而未被(bei)商用,可以這樣理(li)解嗎(ma)?
奧(ao)普光電(002338.SZ)5月30日在投資者(zhe)互動平(ping)臺表示,公司(si)子公司(si)禹衡光學(xue)還需研(yan)發(fa)高精尺。
(記者 蔡鼎)
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