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華海清科：12英寸超精密晶圓減薄機量產機臺出貨

2023-05-21 16:38:35

每經AI快訊，5月21日，華海清科公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺出機發往集成電路龍頭企業。12英寸超精密晶圓減薄機是業內首次實現12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設備，Versatile-GP300量產機臺可穩定實現12英寸晶圓片內磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩定可控。

責編 張楊運

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