每經AI快訊(xun)，有(you)投資者在投資者互動平(ping)臺提問：請簡(jian)單介紹公司(si)新產(chan)品電(dian)(dian)子(zi)級(ji)二氯(lv)(lv)二氫硅(gui)、電(dian)(dian)子(zi)級(ji)三氯(lv)(lv)氫硅(gui)、電(dian)(dian)子(zi)級(ji)四氯(lv)(lv)化硅(gui)在集成電(dian)(dian)路（芯片）的(de)應用(yong)？

三(san)(san)孚股份（603938.SH）3月8日在投資者互動平臺表示，公司產品電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)二(er)(er)氯(lv)(lv)(lv)二(er)(er)氫硅(gui)(gui)、電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)三(san)(san)氯(lv)(lv)(lv)氫硅(gui)(gui)和(he)電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)四(si)氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)，均(jun)為電子(zi)特氣。 電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)三(san)(san)氯(lv)(lv)(lv)氫硅(gui)(gui)主要應用(yong)于(yu)(yu)硅(gui)(gui)外(wai)延(yan)片及碳(tan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)行業。 電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)二(er)(er)氯(lv)(lv)(lv)二(er)(er)氫硅(gui)(gui)主要應用(yong)于(yu)(yu)邏(luo)輯芯(xin)片和(he)存儲(chu)芯(xin)片及硅(gui)(gui)基(ji)前驅體等領域。 電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)四(si)氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)主要用(yong)于(yu)(yu)薄膜沉積(ji)與蝕刻(ke)工藝(yi)，隨著半(ban)導體制程的(de)先(xian)進化(hua)(hua)(hua)，電子(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)四(si)氯(lv)(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)被廣(guang)泛(fan)使(shi)用(yong)于(yu)(yu)邏(luo)輯芯(xin)片與存儲(chu)芯(xin)片的(de)蝕刻(ke)工藝(yi)流程。

(記者 王瀚黎)

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