每經AI快(kuai)訊，有投資者在(zai)投資者互動平臺提問：您(nin)好，ARF光刻膠(jiao)是(shi)(shi)中高(gao)級(ji)芯(xin)片(pian)制程用量最(zui)大(da)(da)的(de)光刻膠(jiao)，目(mu)前國內只有i線g線光刻膠(jiao)實(shi)現(xian)了(le)量產(chan)(chan)(chan)，KRF實(shi)現(xian)很少量生產(chan)(chan)(chan)，而ARF光刻膠(jiao)基本需要(yao)(yao)進口。目(mu)前國內南大(da)(da)光電(dian)實(shi)現(xian)了(le)ARF光刻膠(jiao)產(chan)(chan)(chan)線建設和送(song)檢(jian)適配，并獲(huo)得(de)少量訂(ding)單，是(shi)(shi)最(zui)可能最(zui)早量產(chan)(chan)(chan)的(de)企業。但公司(si)實(shi)現(xian)量產(chan)(chan)(chan)似乎仍要(yao)(yao)假以時日(ri)，據說(shuo)光刻膠(jiao)量產(chan)(chan)(chan)需要(yao)(yao)高(gao)質(zhi)量的(de)樹脂(zhi)、高(gao)精(jing)度的(de)檢(jian)驗設備和DUV光刻機，請問公司(si)當(dang)前量產(chan)(chan)(chan)主要(yao)(yao)困(kun)難在(zai)哪個環節(jie)？

南(nan)大光電（300346.SZ）11月11日(ri)在投資者(zhe)互動平臺(tai)表示，公司ArF光刻(ke)膠所需的關鍵配(pei)套材料均為自(zi)主(zhu)研發生產，主(zhu)要檢測設備(bei)如(ru)光刻(ke)機(ji)也已(yi)正常(chang)投入使(shi)用(yong)。 目前ArF光刻(ke)膠仍(reng)在驗證(zheng)中，需要根(gen)據驗證(zheng)進度和客(ke)戶訂單(dan)情況確(que)定規模量產時間。

(記者 陳鵬程)

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